半導体材料
半導体材料は半導体性能があり、半導体デバイス及び集積回路を製造する電子材料である。シリコン、フォトレジスト、フォトマスク、電子特殊ガス、研磨材料、湿式電子化学薬品、スパッ...
半導体設備
半導体設備は半導体製造プロセスにおいて必要とされる各種の機械設備のことである。拡散設備、リソグラフィ装置、エッチング装置、洗浄設備、イオン注入装置、薄膜蒸着装置、機械研磨...