半导体设备
半导体设备是指在半导体制造工艺中所需要的各种机械设备。包括：扩散设备、光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、机械抛光设备、检测设备等。

半导体材料
半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电路的电子材料。包括：硅片、光刻胶、光掩模、电子特种气体、抛光材料、湿电子化学品、溅射靶材、封装材料等。