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このほど、MIR叡工業は「2020年中国ウエハー製造装置市場調査報告書」を発表した。これにより、中国のウエハー製造装置の業界変化と将来の動向を完全に把握できる。
報告書の主要内容:
1) 中国のウエハー、各種メモリ(DRAM、2 D-NAND、3 D-NANDなど)、各種ロジックチップ、パワー半導体用チップなどの生産量と今後3年間の成長見通しを分析。
2) ウエハー製造プロセスにおける各種装置を詳しく整理し、各装置の国産化率の分析と予測。
3) ある12インチのウエハー工場を例にして、各装置の実際投資額と装置数量、装置の投資比率を分析。
4) 各装置(薄膜蒸着、フォトリソグラフィ設備、エッチング装置、洗浄装置など)の市場容量と成長傾向、およびサプライヤーの市場シェア(2016-2023)
5) 主要な地元設備サプライヤーの詳細分析:売上高と成長;製品と技術の優位性;ウエハー顧客開発状況、将来の発展動向など;
6) 上位 5社ウエハメーカーとチップメーカーの今後3年間の工場投資状況;
具体的な報告内容は以下の通りである。
Part Ⅰ中国のウエハーとチップの全体市場分析(2016-2023)
A. 中国のウエハーの生産量と成長状況の分析と予測
B. 中国のメモリーチップの生産量と成長状況の分析と予測
ü 3D-NAND、2D-NAND、DRAM、Non-Flash
C. 中国論理チップ生産量及び成長状況分析と予測
ü 論理チップ、マイクロプロセッサー
D. 中国パワーチップ生産量及び成長状況分析と予測
Part Ⅱ 中国半導体設備市場分析
A. 中国半導体設備国産化比率及び未来傾向分析-モデル別
ü 薄膜蒸着設備、フォトリソグラフィ設備、エッチング設備、イオン注入装置、
清浄装置、処理装置、AMHS天井クレーンシステム、テスト設備
B. 中国半導体工場設備単価及び投資比率分析(2019)
(設備単価、台数、投資割合)
ü 薄膜蒸着設備:PVD設備(物理気相沈澱)、
CVD設備(化学気相沈殿)、フィルム形成後清浄装置
ü 処理装置:酸化炉、フォトレジスト塗布装置
ü フォトリソグラフィ設備:マスク描画装置、露光装置
ü エッチング設備:ドライエッチング、エッチング後清浄装置(WET)
ü イオン注入/電路形成:酸化装置/拡散装置/LPCVD設備、
イオン注入装置、焼鈍設備、ウエハー研磨(CMP)装置、清浄装置
ü AMHSシステム:STOCKER、OHT車
ü ウエハー工場テスト設備:プローブ、ウエハーテスト装置
C. 中国薄膜蒸着設備市場分析(2016-2023)
C-1 全体市場成長状況分析及び予測(中国需要量、輸入出を含む)
(台数、売上高)
C-2 違う種類の設備(中国需要量、輸入を含む)(売上高)
ü PVD、CVD
C-3 主なメーカーの市場シェア(LED/OLEDの市場需要を含む)(台数)
ü アプライド マテリアルズ、東京エレクトロン、ラムリサーチ(LAM)、HIKE(日本)、
ビーコ、アイクストロン、中微半導体、至純科技、北方華創、瀋陽拓荆など
C-4 国産機器メーカーの技術発展状況
C-5 未来の技術発展傾向
D. 中国フォトリソグラフィ設備市場分析(液剤塗布・現像設備を含む)(2016-2023)
D-1 全体市場成長状況分析及び予測(中国の需要量、輸入を含む)
(台数、売上高)
D-2 主なメーカーの市場シェア(中国の需要量に基づく)(台数)
ü エーエスエムエル(ASML)、キヤノン(Cannon)、ニコン(Nikon)、
東京エレクトロン、DNS
D-3 国産機器メーカーの技術進展状況
D-4 未来の技術発展傾向
E. 中国エッチング設備市場分析(2016-2023)
E-1 全体市場成長状況分析及び予測(中国の需要量、輸入を含む)
(台数、腔数、売上高)
E-2 主なメーカーの市場シェア(中国需要量に基づく)(台数)
ü ラムリサーチ(LAM)、東京エレクトロン、アプライド マテリアルズ、
日立ハイテク、中微半導体、北方華創など
E-3 国産機器メーカーの技術発展状況
E-4 未来の技術発展傾向
F. 中国洗浄装置の市場分析(2016-2023)
F-1 全体市場成長状況分析及び予測(中国の需求量、輸入を含む)
(台数、売上高)
F-2 異なる装置種類(中国の需求量、輸入を含む)(売上高)
ü シングルチップ洗浄、トラフ型洗浄、シングルチップ・トラフ複合洗浄
F-3 主要メーカーの市場シェア(中国の需求量に基づき)(台数)
ü DNS、東京エレクトロン、ラムリサーチ(LAM)、SEMES、ケーエルエー・テンコール(KLA)、
大日本スクリーン製造株式会社(Dainippon Screen)、盛美半導体設備(上海)有限公司、
瀋陽芯源微電子設備股份有限公司、上海至純潔浄系統科技股份有限公司、
北方華創科技集団股份有限公司等
F-4 国産機器メーカの技術進展
F-5 将来の技術動向
G. 中国イオン注入装置の市場分析(2016-2023)
G-1 全体市場成長状況分析及び予測(中国の需求量、輸入を含む)
(台数、売上高)
G-2 主要メーカーの市場シェア(中国の需求量に基づき)(台数)
ü 応用材料公司(バリアン)、Axcelis社、日信工業(Nissin)、AIBT等
G-3 国産機器メーカの技術進展
G-4 将来の技術動向
H. 表面処理装置(CMP)(2016-2023)
H-1 全体市場成長状況分析及び予測(中国の需求量、輸入を含む)
(台数、売上高)
H-2 主要メーカーの市場シェア(中国の需求量に基づき)(台数)
ü 応用材料公司(AMAT)、ebara(荏原製作所)等
H-3 国産設備メーカーの技術進展
H-4 将来の技術トレンド
I. 中国AMHS天井クレーンシステム市場分析(2016-2023)
I-1 全体市場成長状況分析及び予測(中国の需要量、輸入を含む)
(半導体分野、非半導体分野)
I-2 半導体分野の市場シェア(売上高)
ü シンコー、大福等
I-3 国産設備メーカーの技術進展
I-4 将来の技術トレンド
J. 中国ウエハー工場に於けるテスト設備の市場分析(2016-2023)
J-1 全体市場成長状況分析及び予測
(後工程のテストやその他の電子業界のテストを含む)(中国の需要量、輸入を含む)
ü プローブ、ウエハーテスト装置、後工程のテスト等
J-2 主要メーカーの市場シェア(後工程のテストやその他の電子業界のテストを含む)
(売上高)
ü 東京精密、Advantest(爱德万)、Teradyne、Inc(米国)、東京電子、
大日本スクリーン製造、DX(米国)、KLA等
J-3 国産設備メーカーの技術進展
J-4 将来の技術トレンド
Part Ⅲ TOP5ウエハー工場投資建設計画(2020~2022)
(プロジェクト名称、投資額、所在城市、製品、生産能力、着工予定時間、
半導体設備購入額の推計)
A. 中芯国際
B. 長江ストレージ
C. 海力士
D. 華虹集団
E. 台積電(TSMC)
Part Ⅳ 重点国産半導体設備メーカの分析(2019)
(主要製品の売上高及び成長率、顧客層、技術的なメリット、未来の発展方向等)
A. 中微半導体
B. 北方華創
C. 盛美半導体
D. 瀋陽拓荆
E. 北京中科信